ASTM F 847-1994 用X射线技术测量单晶硅薄片和切片平面上结晶方向的测试方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-11 22:55:08 浏览:9600
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【英文标准名称】:TestMethodsforMeasuringCrystallographicOrientationofFlatsonSingleCrystalSiliconSlicesandWafersbyX-RayTechniques
【原文标准名称】:用X射线技术测量单晶硅薄片和切片平面上结晶方向的测试方法
【标准号】:ASTMF847-1994
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1994
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;垫圈;测量;X射线技术;结晶;方位;电子工程;硅
【英文主题词】:testing;measurement;washers;orientation;crystallographic;x-raytechnique;electronicengineering;silicon
【摘要】:
【中国标准分类号】:H26
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:
【正文语种】:英语
【原文标准名称】:用X射线技术测量单晶硅薄片和切片平面上结晶方向的测试方法
【标准号】:ASTMF847-1994
【标准状态】:作废
【国别】:美国
【发布日期】:1994
【实施或试行日期】:
【发布单位】:美国材料与试验协会(ASTM)
【起草单位】:ASTM
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:试验;垫圈;测量;X射线技术;结晶;方位;电子工程;硅
【英文主题词】:testing;measurement;washers;orientation;crystallographic;x-raytechnique;electronicengineering;silicon
【摘要】:
【中国标准分类号】:H26
【国际标准分类号】:29_040_30
【页数】:
【正文语种】:英语
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